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在线

Online介绍资料

一、什么是在线分析

在线分析是指采用自动采样系统,将试样自动输入分析仪器中进行连续或间歇连续分析的分析技术。在线分析、内线分析和外感分析这3种分析方式统称为在线分析。与经典的化学分析或实验室一般的仪器分析相比,在线分析具有分析速度快、效率高(每小时可分析几十甚至上百个样品)、操作简单、自动化程度高、节省人力以及试剂用量等特点,可实现连续监测和数据处理计算机化,消除了人为产生的误差。

 

在线分析仪器与实验室分析仪器相比较,它应具有3个特点:

第一,从生产工艺流程取样,样品状态复杂必须作预处理,才能送入分析仪器进行分析。因此,在线分析仪器必须具有自动取样和试样预处理系统。

第二,分析数据处理自动进行,并显示或输出给调节器或计算机。从取样操作到数据处理全部自动进行,在线分析仪器必须是完全自动化的。

第三,在线分析仪器的精度可以低些,但是长时间运行,其稳定性必须好。

 

离线分析在时间上有滞后性,得到的是历史性分析数据,而在线分析得到的是实时的分析数据,能真实地反映生产过程的变化,通过反馈线路,可立即用于生产过程的控制和最优化。离线分析通常只是用于产品(包括中间产品)质量的检验,而在线分析可以进行全程质量控制,保证整个生产过程最优化。在线分析是今后生产过程控制分析的发展方向。

 

二、行业应用

半导体行业CMP Slurry测试:

晶圆是制造半导体芯片的基本材料,而CMP Slurry在晶圆抛光过程中也扮演着重要的角色。CMP Slurry利用其独特的工艺配方,通过化学机械抛光的方式抛光,这种方式抛光的晶圆不仅具有较高平整度,同时也具有较高的抛光效率。而CMP Slurry常常因为其内部成分复杂,颗粒容易产生聚集。大颗粒的存在往往容易导致晶圆表面产生划痕,因此对于slurry中的颗粒检测是至关重要的环节。

PSS生产的AccuSizer POU系列在半导体行业中应用十分广泛,在线检测高浓度Slurry,实时分析生产过程中slurry的颗粒数量,对重要环节进行实时跟踪,确保生产质量。

 

液晶显示行业Mask清洗测试:

在人类制版工艺历史上,掩膜版作为图形和文字转移的一个重要媒介,广泛应用于出版印刷、电子线路、玻璃印花、印染、陶瓷上花等行业,尤其在不断发展的电子、微电子行业,随着技术、工艺的进步,掩膜技术也一步步有普通光学聚酯底片发展到可以胜任微米级要求的高精度的铬版掩膜等。而铬版掩膜中,对其表面超声清洗必不可少。

PSS生产的AccuSizer FMS系列在液晶显示行业发挥着出色的作用,通过在线实时检测超声清洗后药液的颗粒数来判断Mask是否洗净,客户根据数据趋势判断是否进行下一步工艺,给工艺生产提供了有效的数据判断,减少了因主观判断导致掩膜效果差的情况出现。

 

三、检测优势

1、 相较于人工取样的取样方式,自动取样可以在减少人工的同时,又减少了不必要的污染源

2、 密集的数据采集,检测工艺中颗粒数目趋势

3、 给客户提供自定义的数据通道,便可客户监控

4、 定制化服务,可根据现场情况,可以实现多装置联用

 

四、测试数据


 

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AccuSizer FMS 在线检测数据

五、

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